点击图片查看原图在常温下，四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体，挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一，在900℃时，不与铜、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比)，然而与可燃性气体燃烧时，会分解产生有毒氟化物。
二、四氟化碳特性值
|
国标编号 |
22033 |
||
|
CAS号 |
75-73-0 |
||
|
中文名称 |
四氟甲烷 |
||
|
英文名称 |
tetrafluoromethane；carbon tetrafluoride |
||
|
别 名 |
R14；四氟化碳 |
||
|
分子式 |
CF4 |
外观与性状 |
无色无臭气体 |
|
分子量 |
88.01 |
蒸汽压 |
13.33kPa(15.07℃) |
|
熔 点 |
-183.6℃ 沸点：-128.0℃ |
溶解性 |
不溶于水 |
|
密 度 |
相对密度(水=1)1.61(-130℃) |
稳定性 |
稳定 |
|
危险标记 |
5(不燃气体) |
主要用途 |
用作低温致冷剂及集成电路的等离子干 法蚀刻技术 |
三、四氟化碳质量标准
|
项目ITEM |
公司标准COMPANY STANDARD |
|
|
纯度CF4% |
≥99.9 |
≥99.99 |
|
氮气（N2）的体积公数/10-6 |
≤350 |
≤40 |
|
氧气（O2）的体积分数/10-6 |
≤350 |
≤20 |
|
水分（H2O）的质量分数/10-6 |
≤5 |
≤1 |
|
一氧化碳（CO）的体积分数/10-6 |
≤20 |
≤10 |
|
二氧化碳（CO2）的体积分数/10-6 |
≤80 |
≤10 |
|
酸度（以HF计）的质量分数/10-6 |
≤0.5 |
≤0.1 |
|
其它氟碳化合物（F-）的体积分数/10-6 |
实测 |
≤10 |
|
总杂质的体积分数/10-6 |
≤1000 |
≤100 |
四、四氟化碳主要用途
作为低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术，四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。四氟化碳的溶氧性好，因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功，在275米到366米的深度内，小白鼠仍可安全脱险。
包装:50kg钢瓶包装
